精密真空鍍膜儀
VACUUM COATER

精密真空鍍膜儀
VACUUM COATER
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       真空鍍膜作為半導(dǎo)體、顯示、光伏等行業(yè)的重要工藝流程，對于器件和模組最終的產(chǎn)品性能起著至關(guān)重要的作用。在高真空度下，采用熱蒸發(fā)或磁控濺射等手段，將高純金屬、化合物功能層等鍍膜材料，以超高精度，如0.1nm/s的速度，均勻、致密地沉積到基材表面，并精確控制其厚度，通過不同性質(zhì)的膜層組合，實現(xiàn)特定器件的特殊功能，如光伏發(fā)電、電致發(fā)光、晶體管放大等。

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精密真空鍍膜儀
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